產(chǎn)品型號(hào)
廠商性質(zhì)
更新時(shí)間
瀏覽次數(shù)
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
Nikon EX12B
1.Nikon EX12B步進(jìn)式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)248nm
分辨率優(yōu)于0.3µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.3µm
N.A.0.55
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場(chǎng)22mm*22mm
對(duì)準(zhǔn)精度
LSA：55nm
FIA：65nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
上一篇
